层错发表评论(0)编辑词条

层错[1]：硅单晶沿[111]方向生长，原子排列次序一定是 AA’BB’CC’…,但是由于某种原因，原子排列不按正常次序生长AA’BC’AA’BB’CC’…,这样原子层产生了错排。
　　产生的原因：固液交界面掉有固体颗粒或热应力较大，过冷度较大等都可能造成层错面缺陷的产生，当衬底表面有机械损伤、杂质、局部氧化物、高位错密度等都有可能引起层错的产生。
　　层错常常发生再外延生长硅单晶体上，当硅单晶片经过900~1200度热氧化过程后，经常可发现表面出现层错。这些由氧化过程引起的层错，称之为OSF。
　　因为每个层错都结合着部分位错，所以层错对硅单晶片的电性质影响与位错相似。
　　对电子器件的影响
　　1）增加漏电流
　　2）降低栅氧化层质量
　　3）造成击穿
　　成核位置：
　　1）外在因素。当受到机械上的损伤时，损伤处高悬挂键吸附杂质及再经过热氧化的过程之后，即易引起层错的层错的发生。
　　2）内在因素。再每个OISF的中心常可以发现板状的氧沉淀，因此板状氧沉淀被认为是其成核中心。
　　成长：与热周期的氧化温度、时间、气氛环境、结晶方向、杂质浓度等因素有关。其生长速度随着氧化速率及温度的增加而增加。
　　缩小：再非氧化气氛下进行高温热处理，将导致OISF的缩小。
　　晶棒热历史：CZ硅单晶棒在900~1050度的冷却速度是影响其产生的关键温度。如果CZ硅单晶棒再这个温度内冷却速度较慢的话，会形成较多O2V，将成为OISF的成核位置。因此我们可以增加晶棒再这段温度的冷却速度，就可以避免OISF环的产生。
　　拉速： OISF环的直径通常随着晶体生长时的拉素增加而增加。